三氟化氮的化学式为NF₃，是一种无色、无臭、性质稳定的液化气体。不溶于水和碱，化学上比较惰性，但赤热时与金属、非金属作用，与油和脂肪发生反应，与氢气激烈作用。

高纯三氟化氮几乎没有气味，它是一种热力学稳定的氧化剂，大约在350℃左右可分解成为二氟化氮和氟气，其反应性质类似于氟。三氟化氮用作氧化剂时，在发生反应的同时，可作为二氟化氮游离基的供给源。