四氢化硅又名甲硅烷，在常温常压下为恶臭的无色有毒气体。在常温下稳定，加热至400℃时完全分解为硅和氢。易燃、易爆，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。与CC14及金属卤化物发生反应。在水中缓慢分解，几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿及四氯化碳等。

硅烷是半导体工业中单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化学气相沉积工艺的硅源，并广泛用于太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维及特种玻璃等的生产研制。