四氟化硅（SiF₄）
四氟化硅在常温下为无色、有毒、有刺激性臭味的气体，溶于乙醇、醚、硝酸、氢氟酸，在潮湿的空气中可产生浓烟雾，生成硅氧化物和氟化氢。
四氟化硅可与碱性物质产生剧烈反应，与大部分含有水汽的材料反应生成极易燃的氢气。
高纯四氟化硅是电子和半导体行业中重要的电子特气之一，主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源，还可以用于制备电子级硅烷或多晶硅。我们可提供纯度高于 99.999%的四氟化硅。
产品介绍
纯度：≥99.999%（5N）
规格：47L
订购热线：021-65105080
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